Краткий обзор истории и состояния литографических технологий (англ). В частности рассказывается, что 22нм очень лукавая цифра. Ширина затвора такова, да. Но шаг литографической машины 80нм. То есть уменьшение размеров выходит ограниченное.

 

: 4 комментария

  1. Спасибо, полезная статья!

    Интересно, у нас ведь занимались в 80ые ренгенолитографией. Если б всё не рухнуло, могли бы сейчас ходить гордо…

  2. Надо сказать, в EUV пока прорыва не получается, там очень большие проблемы вылезли. Так что шансы продолжают оставаться.

    Ковалевич (http://chiptalk.ru/funds/) рассказывал, что есть группы Кошелева и Рахимова, которые ведут на мировом уровне работы. Но этим работам нужна поддержка со стороны заказчика. Таковых в России на сегодня нет, а IMEC не особо жаждет кормить российскую науку, местных кулибиных хватает. Может Микрон подрастет, вроде он начинает «шаг влево, шаг вправо» от закупленной технологии.

  3. Гм, а ГУФ (EUV) и рентген — это одно и то же? мне казалось, это разные технологии

  4. Разные. Просто EUV сильно на слуху, модная и прочее. А значит, пока ею не наиграются, другая будет в загоне. И вот когда выяснится, что не подходит (а такое возможно), тогда будут искать новые подходы.

    Мне казалось Рахимов как раз рентгеном занимается (но полез в интернет проверять, оказалось, ошибся). Так что тут я еще и сильно запутался и ляпнул не то. А кто ведущие специалисты в этой области, не подскажете? Может удастся подробности узнать.

Добавить комментарий

Ваш e-mail не будет опубликован. Обязательные поля помечены *

Можно использовать следующие HTML-теги и атрибуты: <a href="" title=""> <abbr title=""> <acronym title=""> <b> <blockquote cite=""> <cite> <code> <del datetime=""> <em> <i> <q cite=""> <strike> <strong>